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 基于多分支结构的点云补全网络

罗开乾 朱江平 周佩 段智涓 荆海龙

[摘要]点云是一种重要的三维表达方式,在计算机视觉和机器人领域都有着广泛的应用。由于真实应用场景中存在遮挡和采样不均匀等情况,传感器采集的目标物体点云形状往往是不完整的。为了提取点云的特征和补全目标点云,提出了一...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2020, 57(24):241019

 “S”型二元编码的正弦结构光模板设计与实验研究

周佩 朱江平 荆海龙 段智涓 安世勇 郭燕琼

[摘要]正弦结构光场普遍应用于精密光学的三维测量,其正弦性直接或间接影响三维测量的精度。根据正弦条纹的周期性和对称性等几何特征,以计算机产生的标准正弦条纹单个周期作为编码对象,提出一种“S”型路径误差扩散的二元编...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2020, 57(15):151203

 基于引导图像和自适应支持域的立体匹配

孔令寅 朱江平 应三丛

[摘要]提出一种基于引导图像和自适应支持域的局部立体匹配算法。首先对校正后的输入图像进行预处理得到引导图像;在匹配代价计算阶段,提出一种梯度计算方法,结合引导图像和输入图像的梯度信息,分别计算x和y方向的梯度,再与A...

 PDF全文光学学报 | 2020, 40(09):0915001

 基于干涉的同轴检焦新方法

李光 朱江平 陈铭勇 赵立新 胡松 段宣明

[摘要]针对现有离轴检焦技术在浸没式光刻方法中的局限性，提出了一种新的基于干涉的同轴检焦方法。测量光通过光刻物镜入射到硅片表面，在硅片表面反射后再次经过光刻物镜后，测量光和参考光产生干涉条纹，并被CCD接收，从而...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(12):1208005

 光刻对准中掩模光栅标记成像标定方法

朱江平 胡松 于军胜 唐燕 周绍林 何渝

[摘要]双光栅叠栅条纹对准方法具有精度高、可靠性强等特点，适用于接近接触式光刻。为了实现高精度测量，实际应用中要求掩模光栅标记与硅片光栅标记高度平行。掩模光栅标记在CCD中成像通常存在一定的倾斜角。由此，在已提出...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(01):0108002

 光子筛成像技术研究进展

何渝 赵立新 唐燕 陈铭勇 朱江平

[摘要]光子筛是一种新型的纳米成像元件，具有高分辨、质量轻、体积小及易复制的优点，对于成像系统轻量化以及极短波谱区成像具有重要意义。根据解决的具体问题对国内外光子筛研究成果进行分类，从成像对比度的增加、衍射效...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2012, 49(09):090007

 基于等效叠栅的反射式光刻对准模型研究

朱江平 胡松 于军胜 唐燕 周绍林 刘旗 何渝

[摘要]针对接近接触式光刻技术的特点，提出了一种实用的反射式光刻对准方案。方案采用差动叠栅条纹对准技术，以叠栅条纹相位作为对准信号的载体。在掩模和硅片上分别设计两组位置相反、周期接近的光栅对准标记。电荷耦合器...

 PDF全文中国激光 | 2012, 39(09):0909001

 一种适用于数字微镜无掩模光刻的图形拼接方法

朱江平 胡松 于军胜 陈铭勇 何渝 刘旗

[摘要]针对数字投影光刻技术大面积图形曝光的需求，提出了一种基于灰度模板调制的图形拼接方法，包括图形分割、模板设计、子图形灰度调制、子图形曝光4个步骤。图形曝光前，需要将曝光图形分割为多帧大小为1024 pixel×...

 PDF全文中国激光 | 2012, 39(06):0616002

 一种数字光栅无掩模光刻对准方法

唐路路 胡松 徐峰 唐燕 陈铭勇 朱江平

[摘要]针对数字微反射镜装置(DMD)无掩模光刻系统，提出并研究了一种数字光栅无掩模光刻对准方法，将硅片的微位移放大显示在数字光栅与硅片物理光栅叠加产生的叠栅条纹中。建立了基于DMD的数字光栅无掩模光刻对准模型，设计...

 PDF全文中国激光 | 2012, 39(03):0316002

 光子筛透镜组合的折衍混合消色差系统设计

何渝 赵立新 唐燕 陈铭勇 朱江平

[摘要]光子筛作为一种衍射光学元件，具有较大的色散，不适用于宽光谱成像。光子筛的焦距随着入射波长的增大而减小，而正的折射透镜焦距随着入射波长的增大而增大。应用了折衍混合方法进行光子筛消色差的设计。该设计利用二...

 PDF全文中国激光 | 2012, 39(12):1216001

 叠栅条纹相位分布对对准精度的影响分析

朱江平 胡松 于军胜

[摘要]光刻对准中，一般将硅片和掩模对准标记制作成周期接近的光栅,通过光栅标记叠加形成的叠栅条纹的相位信息,探测掩模和硅片的相对位置关系。在实际的应用中，叠栅条纹的方向不仅与对准标记的几何位置有关，而且还与CCD的...

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(09):0912002

 基于叠栅条纹的光刻对准理论分析及标定方法

朱江平 胡松 于军胜 唐燕 周绍林

[摘要]在线光栅用于纳米光刻对准理论的基础上，为实现光栅方向的标定和掩模硅片对准，提出一种利用相位斜率消除角位移的新方法，并给出线光栅标记及其对准原理。在对准前，掩模对准标记和硅片对准标记存在角位移，重点讨论...

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(06):0607001

 大数值孔径光子筛偏振特性研究

唐燕 胡松 赵立新 朱江平 何渝

[摘要]根据角谱理论建立不同偏振照明条件下的光子筛矢量衍射模型。在此基础上，对入射光分别为线偏振光、径向偏振光、切向偏振光三种特殊偏振状态下的光子筛聚焦光强分布进行了模拟分析。研究结果表明，对于大数值孔径光子...

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(12):1205002

 准相位型光子筛设计

唐燕 胡松 朱江平 何渝

[摘要]提出了一种准相位型光子筛。该准相位型光子筛通过改变暗环上小孔直径与带宽的比值，对焦点处的相位分布进行调制，使通过亮环和暗环上小孔的光波在焦点处发生相长干涉，生成聚焦光斑。该准相位型光子筛无需对基底进行...

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(10):1022007

 抽样莫尔在材料变形分析中的应用

朱江平 苏显渝 向立群

[摘要]本文利用抽样莫尔法，对材料变形进行了精密测量。将罗琦光栅紧贴在试件表面，使其和试件材料一起变形，然后用CCD 摄像机获取在不同拉伸状态下的离焦变形条纹图。取出其中一幅变形条纹图，采用抽样和双线性插值等操作...

 PDF全文光电工程 | 2010, 37(10):47-55